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金刚线切割硅片线痕,金刚石线切割硅片

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1.导轮问题,如导轮开槽不好,导致切割中硅片出现线痕。2.切片机轴承箱问题,如果有轴承箱损坏,也会导致陕西多线切割机中硅片出现线痕。3.还有辅料问题,如金刚如果sic本身材料的强度过低,切割时与硅棒作用,棱角被磨平钝化,切割能力不足,导致硅片表面出现大面积的均匀线痕;但如果在sic的微粉化过程中由于工艺不当,颗粒在

摘要:本发明公开了一种金刚石线切割硅片的表面处理方法及制绒方法,金刚石线切割硅片表层覆盖有切割引起的非晶硅层,且金刚石线切割硅片表面密布平行的线痕,表面若张力过小,将导致金刚线切割力不足;若张力过大,将导致金刚线断线;若张力控制不稳定,或将导致切出的硅片存在TTV 超标、线痕明显、硅片弯曲和翘曲等质量问题,

⊙▂⊙ 由多晶硅锭内杂质引起,在切片过程中无法完全去除,导致硅片上产生相关线痕。由砂浆中的SIC大颗粒或砂浆结块引起。切割过程中,SIC颗粒“卡”在钢线与硅片之间,无新的金刚石线与换线之前的线径不一致,切割出来的结果就会出现切割断面衔接处出现线痕的问题。单晶硅切样直径310mm的碳化硅晶体,切割40个小时完成,中途换线的地方有一个很深的线痕

1.硅片表面出现单一的一条阴刻线(凹槽)、一条阳刻线(凸出),并不是由于碳化硅微粉的大颗粒造成的,单晶硅、多晶硅在拉制过程中出现的硬质点造成跳线,而形成的线痕;

2一种金刚线切割硅片的方法,包括以下步骤:将粘附有硅块的晶托安装于金刚线线网上方的工作台上;下压工作台,同时导轮带动金刚线运动,对硅块进行切割;其中,所述金刚线的运动过程包括往

金刚石线切割多晶硅片利用二维切割方法,通过电镀或树脂固定的方法将金刚石颗粒镶嵌在不锈钢丝上,直接利用其高速运转对硅片进行磨削切割,具有切割效率高、环保、适合于薄片切割及硅料以金刚线切片机为例,切片机切割硅棒过程中,金刚线须保持稳定的切割张力,若张力过小,将导致金刚线切割力不足;若张力过大,将导致金刚线断线;若张力控制不稳定,或将导致切出的硅片存在

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